16杆二维无耦合微位移工作台专利登记公告

专利名称：16杆二维无耦合微位移工作台

摘要：本发明涉及16杆二维无耦合微位移工作台。该工作台包括基板、外层柔性铰链杆、驱动支座、电致伸缩器件、内层柔性铰链杆、工作台，四组均布的内层柔性铰链杆一端连接工作台，另一端连接驱动支座，驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上，驱动支座与基板凹槽之间设有电致伸缩器件，电致伸缩器件的一端顶在驱动支座的外端，另一端顶紧凹槽的侧壁。本发明采用16根柔性铰链杆形成双层柔性铰链杆对称一体化结构，整体采用线切割加工方法一次切割完成，无装配元件，可实现输出位移与输入位移成正比的独立、无耦合一维或者二维运动，具有分辨率高、结构

专利类型：发明专利

专利号：CN201210152257.X

专利申请（专利权）人：合肥工业大学

专利发明（设计）人：沈健;陈东;张海岩

主权项：16杆二维无耦合微位移工作台，包括基板（1），其特征在于：所述基板（1）中部设有贯通的空腔，所述空腔中部设有工作台（6），工作台（6）的周边分别均布连接着八根内层柔性铰链杆（5）的一端，且两根内层柔性铰链杆（5）并列组成一组，共组成四组，每组两根内层柔性铰链杆（5）的另一端分别连接着驱动支座（3）的内端，且其中两组内层柔性铰链杆（5）沿X方向对称分布，另两组内层柔性铰链杆（5）沿Y方向对称分布；每个驱动支座（3）的两侧分别连接着外层柔性铰链杆（2）的一端，两侧的外层柔性铰链杆（2）的另一端分别连接着基板（

专利地区：安徽