一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法专利登记公告

专利名称：一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法

摘要：本发明涉及曲面微透镜阵列的制备方法，解决了现有微透镜阵列制作复杂、透光性差且不方便插入光纤导致实用性差的问题。一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法包括如下步骤：制备带有凹透镜结构的PDMS负模；制备带有半圆柱状凹槽的PDMS模具：在PDMS负模的底面和PDMS模具的半圆柱状凹槽内均涂一层PDMS液体后加热固化粘合在一起，得到PDMS曲面凹透镜负模；制备NOA73薄膜；从PDMS曲面凹透镜负模的凹透镜结构上揭下带有NOA73固态膜的NOA73薄膜，即得到NOA73曲面微凸透镜阵列。本发明所述的制备方

专利类型：发明专利

专利号：CN201210153132.9

专利申请（专利权）人：中北大学

专利发明（设计）人：刘俊;唐军;张斌珍;石云波;薛晨阳;李向红;孟祥娇;段俊平;刘尧

主权项：一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：?（一）、带有凹透镜结构的PDMS负模（6）的制备：步骤1：取遮光部分为若干个直径为100um的小圆（1）的掩膜板（2），若干个小圆（1）均布在直径为1cm的大圆范围内，其中：相邻小圆的间距为10um且相邻三小圆圆心连接在一起为正三角形；步骤2：取直径为4英寸的圆形基片（3）进行表面预处理后在180℃烘台上烘30min再降至室温；在圆形基片（3）上涂一层厚度为20um的AZ4620正性光刻胶后放在800C烘盘上烘60分钟再降到室温；将

专利地区：山西