一种大型高致密铬靶的制造方法专利登记公告
专利名称:一种大型高致密铬靶的制造方法
摘要:本发明涉及一种高致密铬靶的热压方法,该方法包括依次进行的:抽真空、分阶段升温升压、保压炉冷、热锻、退火、热轧、机加工,七个步骤。通过设计合理的工艺步骤,筛选稳定的工艺参数,达到了低成本制得大型高致密铬靶的目的。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210156200.7
专利申请(专利权)人:烟台希尔德新材料有限公司
专利发明(设计)人:王广欣;钟小亮;豆帆
主权项:一种大型高致密铬靶的制造方法,其特征在于:包括如下依次进行的七个步骤:Ⅰ、真空脱气:采用?200目、纯度为99.95%、氧含量小于1000ppm的铬粉为原料,首先加压5MPa,然后在真空度保持为5.0×10?3Pa的环境下,以300℃/h的加热速度加热至800℃,保温1小时,然后充入氩气;Ⅱ、阶段性升温加压:加压至10MPa,然后以200℃/h的加热速度加热至1100℃,保温1小时;然后以100℃/h的加热速度加热至1400℃,保温1小时;自1100℃开始,在温度上升的过程中每50℃增加2MPa压力,最终
专利地区:山东
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