一种测试腔结构专利登记公告

专利名称：一种测试腔结构

摘要：本发明公开了一种气体传感器技术领域的测试腔结构，包括气流进口1、换能器2、内壁介质层3、敏感膜4、测试腔5、气流出口6和气泵，测试腔和气泵经毛细管连接。本发明结构缩小了测试腔体内部充气容积，在相同气体流量下，敏感膜4附近的气体浓度改变更为迅速，换能器更快达到稳态，因此缩短了换能器的响应时间；测试腔体内壁面积也随之减小，使得内壁对被测气体的吸附量减小；另外通过选择不易吸附被测气体的内壁材料或者在内壁涂覆此类介质材料，减小单位内壁面积对被测物质的吸附量，从而提高了检测精度和降低了检测极限值。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210157214.0

专利申请（专利权）人：电子科技大学

专利发明（设计）人：谢光忠;蒋亚东;周泳;杜晓松;李娴;太惠玲;朱涛;廖剑

主权项：一种测试腔结构，包括气流进口、换能器、内壁介质层3、敏感膜4、测试腔、气流出口、气泵，测试腔和气泵经毛细管连接，其特征在于，所述测试腔的三维尺寸至少有一维在微米量级，连接外界和测试腔的气路截面尺寸为微米至毫米量级。

专利地区：四川