LED 衬底的划片方法专利登记公告

专利名称：LED 衬底的划片方法

摘要：本发明提供了一种LED衬底的划片方法，包括：提供LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层；采用飞秒激光系统将飞秒脉冲激光聚焦为线状光斑，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底中的衬底表面上且其长度大于等于所述LED衬底的直径；采用所述线状光斑对所述衬底进行扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第一沟槽；采用所述线状光斑对所述衬底进行二次扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第二沟槽，所述第二沟槽与第一沟槽的延伸方向垂直。本发明能够避免划片过程中对LED衬底造成的热损伤，而且有利于提高划片效

专利类型：发明专利

专利号：CN201210160394.8

专利申请（专利权）人：杭州士兰明芯科技有限公司

专利发明（设计）人：高耀辉;张昊翔;万远涛;封飞飞;金豫浙;李东昇;江忠永

主权项：一种LED衬底的划片方法，其特征在于，包括：提供LED衬底，所述LED衬底包括衬底和位于所述衬底上的外延层；采用飞秒激光系统将飞秒脉冲激光聚焦为线状光斑，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底中的衬底表面上且其长度大于等于所述LED衬底的直径；采用所述线状光斑对所述衬底进行扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第一沟槽；采用所述线状光斑对所述衬底进行二次扫描，以在所述衬底表面形成相互平行的多个第二沟槽，所述第二沟槽与第一沟槽的延伸方向垂直。

专利地区：浙江