激光加工LED衬底的系统及方法专利登记公告

专利名称：激光加工LED衬底的系统及方法

摘要：本发明提供了一种激光加工LED衬底的系统及方法，该系统包括：飞秒脉冲种子激光源；激光放大扩束装置，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行能量放大、扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底内或其表面上。本发明能够采用飞秒激光对LED衬底进行加工，有利于整合减薄和划片工艺，提高生产效率，降低生产成本。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210160695.0

专利申请（专利权）人：杭州士兰明芯科技有限公司

专利发明（设计）人：高耀辉;张昊翔;金豫浙;封飞飞;万远涛;李东昇;江忠永

主权项：一种激光加工LED衬底的系统，其特征在于，包括：飞秒脉冲种子激光源；激光放大扩束装置，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行能量放大、扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底内或其表面上。

专利地区：浙江