提高紫外发光二极管出光效率的方法专利登记公告
专利名称:提高紫外发光二极管出光效率的方法
摘要:一种提高紫外发光二极管出光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:一紫外发光二极管外延片;步骤2:在紫外发光二极管外延片的蓝宝石衬底的背面生长一氮化物层;步骤3:将氮化物层的表面粗化,完成制备,该方法简单方便易行,与传统LED工艺相兼容。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210162627.8
专利申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
专利发明(设计)人:董鹏;王军喜;闫建昌;张逸韵;孙莉莉;曾建平;李晋闽
主权项:一种提高紫外发光二极管出光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:一紫外发光二极管外延片;步骤2:在紫外发光二极管外延片的蓝宝石衬底的背面生长一氮化物层;步骤3:将氮化物层的表面粗化,完成制备。
专利地区:北京
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