极紫外光刻光源Xe¹⁰⁺离子状态的检测系统专利登记公告

专利名称：极紫外光刻光源Xe¹⁰⁺离子状态的检测系统

摘要：极紫外光刻光源Xe10+离子状态的检测系统，它涉及极紫外光刻光源离子状态的检测系统，本发明是为了解决极紫外光刻机在正常工作条件下进行极紫外光刻光源离子状态检测时，由于相机对光刻光源的光路的遮挡难以实现极紫外光刻光源离子状态实时检测的问题。它包括极紫外收集镜、反射镜、滤光片、光电二极管和示波器；毛细管输出端面的中心点与反射镜上端部连线与毛细管输出端的中心点与反射镜下端部连线的夹角为9~11°。此夹角范围内输出的极紫外光入射光电二极管，转变为电信号传递给示波器，示波器又将电信号转变为光信号形成的波形来动态显示

专利类型：发明专利

专利号：CN201210164154.5

专利申请（专利权）人：哈尔滨工业大学

专利发明（设计）人：赵永蓬;徐强;王骐

主权项：极紫外光刻光源Xe10+离子状态的检测系统，它包括极紫外收集镜（2）、反射镜（3）、滤光片（4）、光电二极管（5）和示波器（6）；其特征在于反射镜（3）设置在毛细管（1）输出端面的轴线上，且毛细管（1）输出端面的中心点与反射镜（3）上端部连线与毛细管（1）输出端面的中心点与反射镜（3）下端部连线的夹角为9°~11°；毛细管（1）输出端面的中心点与反射镜（3）上、下端部连线的夹角范围内输出的极紫外光入射至反射镜（3），经反射镜（3）反射至滤光片（4），经滤光片（4）滤光后入射至光电二极管（5）的光输入端，光

专利地区：黑龙江