一种电场辅助掩埋光波导的工艺监控方法及装置专利登记公告

专利名称：一种电场辅助掩埋光波导的工艺监控方法及装置

摘要：本发明涉及一种电场辅助掩埋光波导的工艺监控方法与装置，采用监控电场辅助离子交换过程中的电荷密度通量控制光波导掩埋过程，所述的电荷密度通量是通过监控电场辅助离子交换过程中电流与时间的积分来进行精确控制的。监控系统由采集电路系统与计算机终端构成。采集电路系统由数据采集单元、数据运算处理单元以及数据输出单元构成。数据采集单元与电场辅助掩埋光波导工艺的电路连接，实现工艺中电压与电流的采集；数据运算处理单元实现采集数据的模数转换以及精度控制；数据输出单元与计算机终端连接，实现了计算机终端对数据的读取与分析。与现有技

专利类型：发明专利

专利号：CN201210164846.X

专利申请（专利权）人：上海光芯集成光学股份有限公司

专利发明（设计）人：郑伟伟;王毅强;商惠琴;王明华;杨建义;郝寅雷

主权项：一种电场辅助掩埋光波导的工艺监控方法，所述的电场辅助掩埋光波导的工艺，是将玻璃基片置于离子交换熔盐中，玻璃基片上的离子与离子交换熔盐中的掺杂离子进行离子交换，并在离子交换熔盐中设有正极和负极，通过电场辅助使掺杂离子进入玻璃基片内部形成掺杂区，在玻璃基片上制作掩埋光波导，其特征在于，所述的监控方法是采用监控电场辅助离子交换过程中的电荷密度通量控制光波导掩埋过程，所述的电荷密度通量是通过监控电场辅助离子交换过程中电流与时间的积分来进行精确控制的。

专利地区：上海