一种硅片检测仪专利登记公告

专利名称：一种硅片检测仪

摘要：本发明公开了一种硅片检测仪，包括支撑体、千分表和砝码；支撑体具有支撑面水平的支撑件，支撑件支撑待测硅片的周部；支撑件的外侧具有定位件，定位件的内侧接触待测硅片，待测硅片每边接触至少一个定位件；千分表位于支撑体内部，千分表指针的中心线穿过待测硅片的几何中心；砝码的组合能够组成预定的重量，并放置在待测硅片的中央。硅片检测仪检测硅片时，硅片放置在支撑件上由定位件定位，千分表的触点抵顶硅片中央并调零，将预定重量的砝码放置在硅片中央，此时，千分表的读数能够反映硅片中央的实际变形量，如果此实际变形量大于合格变形量的最

专利类型：发明专利

专利号：CN201210164856.3

专利申请（专利权）人：天津英利新能源有限公司

专利发明（设计）人：史志和;王康;张凯

主权项：一种硅片检测仪，其特征在于，包括支撑体（1）、千分表（2）和砝码（3）；所述支撑体（1）具有支撑面水平的支撑件（11），所述支撑件（11）支撑待测硅片（4）的周部；所述支撑件（11）的外侧具有定位件（12），所述定位件（12）的内侧接触所述待测硅片（4），所述待测硅片（4）每边接触至少一个所述定位件（12）；所述千分表（2）位于所述支撑体（1）内部，所述千分表（2）指针的中心线穿过所述待测硅片（4）的几何中心；所述砝码（3）的组合能够组成预定的重量，并放置在所述待测硅片（4）的中央。

专利地区：天津