一种压电系数检测方法专利登记公告

专利名称：一种压电系数检测方法

摘要：本发明公开了一种压电系数检测方法。本发明方法采用加载脉冲直流电压后，利用交流电压信号测试样品的微区压电系数，可以测试非线性压电样品的压电系数；在测试材料的压电系数时，停止了给待测样品施加直流电压，利用施加的交流电压来检测每个准静态直流偏压下即每个直流脉冲下待测样品的压电系数，这样避免了测试中由于施加直流电场导致待测样品表面积累电荷，导致探针悬臂产生感应电势，进而避免了针尖电场和待测样品表面的相互作用势引起的探针悬臂位置的偏差，继而消除了原子力显微镜光学回路的偏差，提高了测试精准度。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210165178.2

专利申请（专利权）人：电子科技大学

专利发明（设计）人：韩若冰;曾慧中;黄文;林媛

主权项：一种压电系数检测方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.将待测具有底电极的压电材料置于原子力显微镜样品台，用导电探针接触样品待测区域；S2.每隔一段时间，给原子显微镜针尖与待测压电材料之间加载一个直流脉冲；若待测压电材料为非线性压电材料，则加载的直流脉冲的大小满足：相邻间隔直流脉冲的大小先递增后递减，即从预先设置的最小值依次递增直至增加到预先设置的最大值，再从预先设置的最大值依次递减直至减小到预先设置的最小值；或者，相邻间隔直流脉冲的大小先递减后递增，即从预先设置的最大值依次递减直至减小到预先设置的最小值，

专利地区：四川