一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺专利登记公告

专利名称：一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺

摘要：本发明公开了一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺，该方法采用聚丙烯腈基碳纤维编制的预制体，以天然气、丙烯、石油液化气的混合气体为碳源，氮气或氩气为载气，在立罐式沉积炉形成的均温热场内，定时切换管路的上进气与下进气，利用坩埚内外气体的压力差，实现均温法、压差法、强制气流法相结合，实现坩埚坯体整体的快速致密化，坩埚在300至350小时后，密度可达到1.6g/cm3以上，较传统自由沉积工艺大大缩短沉积时间，降低了生产成本。坩埚经机械加工后，用于单晶硅炉热场，炭/炭复合材料坩埚较热等静压石墨坩埚寿命提高了3

专利类型：发明专利

专利号：CN201210166266.4

专利申请（专利权）人：保定顺天新材料股份有限公司

专利发明（设计）人：王金铎;谭平;杨海春;梁伊丽;啜艳明;王亚军;王利强;陶国雷;杨金海;郭凤祥

主权项：一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺，其特征在于包括如下步骤：（1）以碳纤维为原料，分别编织成网胎与炭布，并通过针刺使之复合成毡，把毡缠绕固定在坩埚形状的模具上，其上覆盖一层炭布，再覆盖一层网胎，如此交迭放置并通过针刺使之复合，得到密度为0.4?g/cm3?0.6?g/cm3的准三维坩埚预制体；（2）将所述坩埚预制体放入沉积炉内进行沉积，所述沉积炉的支撑底板和炉顶上均分别设置有1?4路气体通道，所述气体通道的进、出气状态能够瞬时切换，具体步骤为：a.将所述坩埚预制体倒置在所述沉积炉内的支撑底板上，使

专利地区：河北