一种碳化硅纳米线及其阵列的制备方法专利登记公告

专利名称：一种碳化硅纳米线及其阵列的制备方法

摘要：一种碳化硅纳米线及其阵列的制备方法，属于纳米技术领域。包括如下步骤：（1）将正硅酸乙酯加入乙醇水溶液中，向其中滴入氨水，混合均匀后，再向其中加入纳米碳粉，混合均匀；（2）凝胶化处理，所得凝胶经干燥、研磨，得到干凝胶粉末；（3）取上述干凝胶粉放入氧化铝舟中一侧，单晶硅片放入氧化铝舟的另一侧，将所述氧化铝舟放入氧化铝管中，其中所述氧化铝舟上的干凝胶粉居于氧化铝管的正中央，单晶硅片置于氧化铝管中的下风口处；在氩气气氛下，升温，恒温反应2~6小时，反应结束后，降至室温，在氧化铝管壁上得到碳化硅纳米线，在单晶硅片上

专利类型：发明专利

专利号：CN201210166884.9

专利申请（专利权）人：太原理工大学

专利发明（设计）人：许并社;齐晓霞;马淑芳;贾伟;梁建;余春燕

主权项：一种碳化硅纳米线及其阵列的制备方法，包括如下步骤：（1）将乙醇与去离子水混合得到乙醇水溶液，向所述乙醇水溶液中加入正硅酸乙酯，然后再向其中滴入氨水，混合均匀；（2）向所述步骤（1）中混合均匀后的溶液中加入纳米碳粉，混合均匀；（3）向经所述步骤（2）混合均匀后的溶液中加入六次甲基四胺水溶液，形成凝胶，所得凝胶经干燥得到干凝胶，对所述干凝胶进行研磨，得到干凝胶粉；（4）取上述干凝胶粉放入清洗干净的氧化铝舟中一端，单晶硅片放入氧化铝舟的另一端，然后将所述氧化铝舟放入氧化铝管中；所述氧化铝舟中放置所述干凝胶粉的一

专利地区：山西