一种新型集成波导型光隔离器及其制备工艺专利登记公告

专利名称：一种新型集成波导型光隔离器及其制备工艺

摘要：一种新型集成波导型光隔离器及其制备工艺。光隔离器与激光器一起使用，起到保护激光器的作用。所研制的集成波导型光隔离器基于铈-钇铁石榴石（CeYIG）薄膜，通过匀胶、前烘、曝光、显影、坚膜、湿法刻蚀和去胶等工艺步骤完成磁光薄膜的制备，然后通过外加磁场实现光隔离器。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210168741.1

专利申请（专利权）人：西安交通大学

专利发明（设计）人：杨树明;张坤;李磊;韩枫;胡庆杰;蒋庄德

主权项：光隔离器用CeYIG陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将氧化铈（CeO2）、氧化钇（Y2O3）、氧化铁（Fe2O3）粉末称量后，按摩尔比1∶1∶2.5的比例均匀混合后放入球磨罐中混合球磨；2)球磨后进行烘干煅烧；3)二次球磨、并烘干煅烧；4)研磨过筛再加粘合剂研磨造粒并放入压靶模具中压制成型并烧结。

专利地区：陕西