腔体压力调节方法及腔体压力调节装置专利登记公告

专利名称：腔体压力调节方法及腔体压力调节装置

摘要：本发明提出一种腔体压力调节方法，包括：设定目标值，根据所述目标值，计算所述目标值的预设粗调范围；打开节流阀角度至固定角度，使腔体压力从初始值调节至所述预设粗调范围；根据腔体压力的实时变化，在所述固定角度基础上实时调节角度；腔体压力调节至目标值，关闭节流阀。本发明还提出一种腔体压力调节装置。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210169498.5

专利申请（专利权）人：上海华力微电子有限公司

专利发明（设计）人：金懿;徐伯山;沈剑平

主权项：一种腔体压力调节方法，其特征在于，包括：设定目标值，根据所述目标值，计算所述目标值的预设粗调范围；打开节流阀角度至固定角度，使腔体压力从初始值调节至所述预设粗调范围；根据腔体压力的实时变化，在所述固定角度基础上实时调节角度，使腔体压力调节至目标值；关闭节流阀。

专利地区：上海