一种控制蓝宝石生长尺寸的方法及系统专利登记公告
专利名称:一种控制蓝宝石生长尺寸的方法及系统
摘要:本发明揭示了一种控制蓝宝石生长尺寸的方法及系统,所述方法包括如下步骤:在蓝宝石生长界面的上方及下方,即弯液面的上方及下方,接入直流电源;监测加载于结晶界面上方及下方的电流或电压,以此来判定晶体的即时尺寸;调整电流或电压的大小或/和方向,控制蓝宝石生长的尺寸;控制方法为:若电流由熔体流向晶体,结晶界面变小;若电流由晶体向熔体,结晶界面增加。本发明提出的控制蓝宝石生长尺寸的方法及系统,通过电压、电流等信号直接判定蓝宝石尺寸,并利用自控电路直接控制蓝宝石生长界面进而控制蓝宝石尺寸,响应速度比传统意义上调整加热电
专利类型:发明专利
专利号:CN201210172028.4
专利申请(专利权)人:上海中电振华晶体技术有限公司
专利发明(设计)人:薛卫明;维塔利·塔塔琴科;陈文渊;刘一凡;孙大伟
主权项:一种控制蓝宝石生长尺寸的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:步骤S1、将设定重量的高纯蓝宝石块料或粉料装入坩埚,选用a向或m向或c向或r向的定向籽晶固定到提拉机构上;步骤S2、将晶体生长炉真空度抽至10?3Pa量级;步骤S3、通过加热器控制晶体生长炉升温至2000~2100℃,直至蓝宝石原料熔化为熔体;在结晶界面的上方及下方加载电流或电压,电流或电压的一端位于结晶界面以上/下的低温区,一端位于结晶界面以下/上的高温区;低温区的接入点温度为1500~2100℃,高温区的接入点温度为1800~2200℃;
专利地区:上海
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