一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法专利登记公告

专利名称：一种硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜及其制备方法

摘要：本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/锆周期多层膜，其中硅铝合金/锆周期多层膜是硅铝合金薄膜层和锆薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的Al基多层膜相比，硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜引入了化学性质和物理性质更为稳定的硅铝合金代替纯硅，在没有较大改变铝材料光学性能的基础上，抑制了Al膜层的结晶，改善了多层膜的界面，在保证较高的光谱分辨率的前提下，提升了反射镜的反射率。本发明提出的这种新型的硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易

专利类型：发明专利

专利号：CN201210172142.7

专利申请（专利权）人：同济大学

专利发明（设计）人：张众;钟奇;王占山

主权项：一种极紫外多层膜反射镜，其特征在于：该反射镜包括基底和硅铝合金/锆周期多层膜，其中硅铝合金/锆周期多层膜是硅铝合金薄膜层和锆薄膜层交替沉积于基底表面上。

专利地区：上海