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光栅栅距实时在线全自动测量方法及装置专利登记公告


专利名称:光栅栅距实时在线全自动测量方法及装置

摘要:本发明提供了一种光栅栅距实时在线全自动测量方法和装置,在测量过程中,高速高精度同步数据采集系统同时采集光栅输出的四路莫尔条纹信号,由任意两路信号之间的距离和渡越时间获得传感器的运行速度。栅距的周期时间测量是首先准确识别光栅输出的周期性莫尔条纹信号的两个相邻峰值点,然后测量两个峰值点之间的时间。通过时间与速度乘积获得每个栅距值。该发明能够测量出每个栅距的准确值,具有速度快、实时在线、准确性高、重复性好、实用性强、全自动等特点,为光栅位移精密测控中每个栅距累积误差修正提供准确依据,可应用在大量程位移精密测控、

专利类型:发明专利

专利号:CN201210178454.9

专利申请(专利权)人:沈阳工业大学

专利发明(设计)人:常丽

主权项:一种光栅栅距实时在线全自动测量方法,其特征在于:在光栅传感器运动过程中在线实时的自动测量光栅栅距常数,可实现栅距的反复测量,并且保存每个栅距的准确值,为位移测量的累积误差修正提供准确的数据依据,该方法的步骤如下:①、速度的测量:光栅传感器内置的光电转换器将光信号转换成电信号,光电转换器均匀分布在一个莫尔条纹周期内,相互位置固定不变,一般传感器内置四个光电转换器,设两个光电转换器之间的距离为l,在测量过程中,由自动精密工作台带动光栅传感器运动,在运行过程中光栅传感器输出四路莫尔条纹信号,利用高精度同步数据采

专利地区:辽宁