直接光驱动扫描微镜专利登记公告

专利名称：直接光驱动扫描微镜

摘要：一种直接光驱动扫描微镜，它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；本发明采用硅微加工技术制成，可由入射激光中的特定波长驱动激光直接驱动镜片完成扫描，从而免除传统的电气连接相关的引线键合工序，结构简单，成本低廉。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210180066.4

专利申请（专利权）人：凝辉(天津)科技有限责任公司

专利发明（设计）人：徐英舜

主权项：一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连。

专利地区：天津