PVD技术制备超硬纳米复合多层涂层的工艺专利登记公告

专利名称：PVD技术制备超硬纳米复合多层涂层的工艺

摘要：本发明涉及涂层技术领域，具体涉及PVD技术制备超硬纳米复合多层涂层的工艺，该PVD技术制备超硬纳米复合多层涂层的工艺，包括以下步骤：a、工模具表面的预处理；b、工模具的预加热；c、工模具表面的清洗刻蚀；d、TiN膜层的镀制；e、(TiN+CrN)膜层的镀制；f、CrAlN膜层的镀制。该工艺所制备的超硬纳米复合多层涂层的内应力小，从而使得所镀制的超硬纳米复合多层涂层与工模具表面的结合强度好，结合力>75N；而且，镀制了超硬纳米复合多层涂层的工模具具有红硬性高、抗氧化性高、耐磨性高和价格低的特点。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210193969.6

专利申请（专利权）人：东莞理工学院

专利发明（设计）人：田君;钟守炎;石子琼;荆建军;廖梓龙

主权项：PVD技术制备超硬纳米复合多层涂层的工艺，其特征在于，它包括以下步骤：a、工模具表面的预处理：将工模具放入碱性金属清洗液中煮沸，然后室温下将工模具放入装有碱性金属清洗液的超声清洗机中进行超声处理，然后放入纯乙醇溶液中脱水处理后干燥；b、工模具的预加热：将经过表面预处理的工模具放入镀膜炉中，通入Ar气，启动空心阴极电子枪和炉体内的加热装置，空心阴极电子枪的直流等离子体电弧直接照射工模具的表面以达到加热的目的；c、工模具表面的清洗刻蚀：通入Ar气，调整空心阴极电子枪的电流值，对工模具施加脉冲偏压；启动阴极多弧

专利地区：广东