板式PECVD加热载板专利登记公告
专利名称：板式PECVD加热载板
摘要：本实用新型公开了一种板式PECVD加热载板，包括本体，在所述本体上设有第一凹槽，在所述第一凹槽中设有孔。本实用新型与现有技术相比，不仅改善了加热后导热性不足的问题，同时有效地提高了电池转换效率，还能适合多种规格的硅片。
专利类型：实用新型专利
专利号：CN201220210918.5
专利申请（专利权）人：奥特斯维能源（太仓）有限公司
专利发明（设计）人：姚骞;林大成;王虎;胡嫚
主权项：一种板式PECVD加热载板，包括本体，在所述本体上设有第一凹槽，在所述第一凹槽中设有孔。
专利地区：江苏
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