金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置及反应器专利登记公告

专利名称：金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置及反应器

摘要：一种金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置，包括:顺序叠加、彼此连接在一起的控温板、气体分布板，其中所述控温板与所述气体分布板之间通过可拆卸固定装置固定连接；所述控温板、气体分布板上分别预设有若干通道，在所述控温板、气体分布板彼此连接后，所述若干通道相互连通并构成相互隔离的若干个第一气体分布通道与若干个第二气体分布通道，所述若干个第一气体分布通道与第一反应气体源相连通，所述若干个第二气体分布通道与第二反应气体源相连通；所述控温板上还设置有与冷却源相连接的冷却腔。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201220214631.X

专利申请（专利权）人：中微半导体设备（上海）有限公司

专利发明（设计）人：杜志游;姜勇;周宁

主权项：一种金属有机化学气相沉积反应器的气体分布装置，其特征在于，包括:彼此连接在一起的控温板、气体分布板，其中所述气体分布板和控温板之间通过可拆卸固定装置固定连接；所述气体分布板上包括相互隔离的若干个第一气体分布通道与若干个第二气体分布通道，所述若干个第一气体分布通道与第一反应气体源相连通，所述若干个第二气体分布通道与第二反应气体源相连通，所述若干第一和第二气体分布通道在气体分布板下表面形成若干气体喷出口；所述控温板上分别预设有若干通道与所述气体分布板下表面上的若干气体喷出口位置对应并且相连通；所述控温板上还设

专利地区：上海