气体管路输送系统专利登记公告

专利名称：气体管路输送系统

摘要：本实用新型涉及一种气体管路输送系统，由可燃气体室、不可燃气体室、VMB气体分配室、CVD??Area、Etch??Area、输送管道组成；可燃气体室与不可燃气体室内的气体通过由SS316L??EP制成的输送管道输送到VMB气体分配室内相应的VMB中，再从相应的VMB中输送到需求相应气体的CVD??Area或Etch??Area中；或是将可燃气体室与不可燃气体室内的气体直接输送至需求相应气体的CVDArea或Etch??Area中；输送管道尺寸除N2O输送管道为3/8″外，其余输送管道尺寸均为1/4″；本实用新型具有气体流量稳定，供应充足的优点。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201220378435.6

专利申请（专利权）人：无锡奥维特电子科技有限公司

专利发明（设计）人：马全合;张磊;姚煜

主权项：气体管路输送系统，由可燃气体室、不可燃气体室、VMB气体分配室、CVD??Area、Etch??Area、输送管道组成；其特征在于：可燃气体室内设置有C2H2+N2气瓶柜、PH3气瓶柜1#、PH3气瓶柜2#、SiH4+B2H6气瓶柜、SiH4气瓶柜、NH3气瓶柜；不可燃气体室内设置有CL2+HBr气瓶柜、SF6+CF4、N2O+CHF3G.R、Ar+He+N2G.R；VMB气体分配室内设置有BCL3+SiH2CL2气瓶柜、SiH2CL2VMB、BCL3VMB、S??iH4VMB、NH3VMB、CL2VMB

专利地区：江苏