单板机直接数字控制外延设备专利登记公告

专利名称：单板机直接数字控制外延设备

摘要： 单板机直接数字控制外延设备是一种半导体工艺设备。本实用新型采用一台单板计算机对气相硅外延设备的温度、流量等工艺过程进行直接数字控制和程序控制,可广泛应用于各种半导体和集成电路的生产过程中。本设备用简单的人__机对话方式输入参数,以迅速更换产品品种,工人操作方便。它用粗、精测双通道输入部件,只需配备低价的八位模数转换器就能实现对温度的高分辨率转换,且有计算机程序出错报警装置,进一步完善了报警功能。本装置有较好的性能价格比。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN85200023

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：梁任秋; 黄胜军

主权项： 一种气相硅外延加工用的单板机直接数字控制设备，由控制器，非接触式测温仪，配有外延炉的高频感应加热电源及电磁阀等部件所组成，其特征为该控制器是使用常用的８位单板机，并采用了计算机程序出错报警装置及对温度检测采取粗、精测双通道输入的部件。

专利地区：北京