装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪专利登记公告

专利名称：装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪

摘要： 装有消色差波片的光谱椭圆偏振仪是偏振光计量仪器,用来测量多种波长下薄膜的折射率n(λ).膜厚d或吸收系数K(λ).装有消色差λ/4波片的光谱椭圆偏振仪与其它椭圆偏振仪'光谱椭圆偏振仪所不同的特征是装有做为消色差λ/4波片的菲涅尔棱镜(斜方棱镜),菲涅尔棱镜是装在起偏器和供装被测薄膜样品的可调平台之间,光束入射的棱镜表面与入射的光束相垂直,它的位相延迟量在光谱范围内的名义值是90°C.

专利类型：实用新型专利

专利号：CN85200356

专利申请（专利权）人：北京工业学院

专利发明（设计）人：哈流柱

主权项： 装有消色差λ／４波片的光谱椭圆偏振仪，其特征在于：装有作为消色差λ／４波片的菲涅尔棱镜（ＦｒｅｓｎｅｌＰｒｉｓｍ，斜方棱镜），菲涅尔棱镜是装在起偏器和供装被测薄膜样品的可调平台之间，光束入射的棱镜表面与入射的光束相垂直，它的位相延迟量在光谱范围内的名义值是９０°。

专利地区：北京