一种离子质量数监控及锁定装置专利登记公告

专利名称：一种离子质量数监控及锁定装置

摘要： 一种能够对离子的质量数加以显示、控制和准确锁定的装置。其锁定精度在1-75a·m·u范围内为±0.2a·m·u;在75-122a·m·u范围内为±0.3a·m·u，从而能作到双电荷、三电荷离子的注入锁定。将它安装在离子注入机上，能够保证离子注入时掺杂的纯度、精密度和重复精度，有效地提高了集成电路芯片的成品率。该装置还可用于需要对离子质量数进行监控和锁定的冶金、金属加工以及超导研究等方面。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN85201295

专利申请（专利权）人：西安交通大学

专利发明（设计）人：胡瑞雯; 符家平; 王东宇; 万洪祥

主权项： 一种用在离子注入机上，以便对所注入元素的质量数加以监视、控制及锁定的装置，其特征在于它由吸极电压采集单元（２）、磁场信号采集及处理单元（４）、磁场激磁电流调节及控制单元（７）、微型计算机（８）、光耦合隔离器（３）和（６）组成。

专利地区：陕西