电子显微镜制样用真空镀膜机专利登记公告

专利名称：电子显微镜制样用真空镀膜机

摘要：一种用于制备电子显微镜样品的真空镀膜机。目前国内外上述用途的真空镀膜机都只能用电阻法加热投影重金属，电阻法不能有效地蒸发钨、铂等难蒸发材料。为解决钨和铂的蒸发问题，采用在现有的真空镀膜机中安装一个低加速电压、小功率的电子枪，达到了有效地蒸发钨和铂的目的。采用钨投影的电子显微镜样品的分辨率比用铬投影高出四倍；用此法进行铂投影比电阻法铂——碳投影有操作简便，成功率高、对样品的热损伤小等优点。

专利类型：实用新型专利