湿法腐蚀装置专利登记公告

专利名称：湿法腐蚀装置

摘要： 一种湿法化学腐蚀装置,用以腐蚀介质薄膜,特别适用于半导体器件生产工艺中Si₃N₄介质膜的湿法腐蚀,可耐200℃高温.$在腐蚀容器[2]上的盖子[1]内侧布满回形冷却管[3],当腐蚀液加热时,管子接通冷却水,这样因受热产生的腐蚀液蒸汽在管子上遇冷而凝聚下来,滴回腐蚀液中,从而能很好地保持腐蚀液的组分,不改变腐蚀速率,保证腐蚀质量.

专利类型：实用新型专利

专利号：CN85203849

专利申请（专利权）人：航天工业部七七一研究所

专利发明（设计）人：刘振芳; 蔡福兴

主权项： 一种由腐蚀容器［２］、容器盖［１］构成的湿法腐蚀装置。本实用新型的特征在于容器盖子内侧有冷却管［３］，粘结或烧结在容器盖子上，冷却管的两头通过盖子的两个相对或相邻的侧壁和外面的冷却水相通。容器内装有可供测温的装置［４］，冷却管进、出口和盖子的交接处应没有缝隙，盖子和容器的接合面［ａ］应严密吻合。

专利地区：陕西