高精度双边差动式光电显微镜专利登记公告

专利名称：高精度双边差动式光电显微镜

摘要： 一种高精度双边差动式光电显微镜，属于长度计量仪器。其主要特征在于光电转换部分采用了双边差动式转换方法，有效地抑制了光漂；光电系统利用遮光效应效应及小孔成像原理，光学像清晰，并可连续变倍。因此，对倍率、光强、光电接收面积等影响精度的主要因素，进行正交试验以确定最佳匹配参数。该显微镜用于小尺寸、形状复杂且精度要求高的工件（如千分尺丝杆螺纹及仪表齿轮轮廓等）进行动态瞄准，其瞄准极限误差３σ≤±０．０７μｍ。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN86200360

专利申请（专利权）人：青海省计量局

专利发明（设计）人：江涛

主权项：一种高精度双边差动光电显微镜，由光源（１）经聚光镜（２）发出平行光照亮工件（３），工件（３）由显微镜（４）成像在像面（５）上，其特征在于像面（５）位于显微镜系统（７）的１倍焦距以内焦点Ｆ↓〔２〕附近，在显微镜（７）的像方焦点Ｆ′↓〔２〕后面的阴影区（９）内设一光电接收器（１０）便可接到物体（３）的像，改变光电接收器（１０）与焦点Ｆ′↓〔２〕之间的距离，即可改变像的大小。

专利地区：青海