平行场空心阴极电子枪专利登记公告

专利名称：平行场空心阴极电子枪

摘要： 本实用新型属于真空镀膜机中的电子枪，它改变了传统的空心阴极电子枪中的电场与磁场相垂直的结构，采用了电场与磁场相平行的布置方式。使空心阴极聚焦极与其空心阴极共轴，其空心阴极聚焦极与坩埚聚焦极的结构及参数完全相同，其间的水平与垂直距离相等。废弃了传统的辅助阳极，采用充气管兼做轰击极。取消了支承机构和冷却装置。从而使电子枪的结构大为简化，并具有体积小，成本低，操作方便，离化率高，性能稳定等优点。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN86201415

专利申请（专利权）人：东北工学院

专利发明（设计）人：张树林

主权项： 一种包含有空心阴极〔１〕及其聚焦极〔３〕、坩埚〔１１〕及其聚焦极〔７〕、工件转架〔４〕、电热器〔５〕、充气管〔９〕的空心阴极电子枪，其特征在于，该电子枪中的空心阴极聚焦极〔３〕与空心阴极〔１〕共轴，偏心距为零，其空心阴极聚焦板〔３〕与坩埚聚焦极〔７〕的结构及参数完全相同，其间的水平与垂直距离相等，形成电场与磁场相平行，废弃了传统的辅助阳极，采用充气管〔９〕兼做轰击极，在坩埚水冷电极上端加一可调整的永久磁铁〔１０〕。

专利地区：辽宁