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高灵敏度长度测量干涉仪专利登记公告


专利名称:高灵敏度长度测量干涉仪

摘要: 本实用新型提供了一种高灵敏度长度测量用的干涉仪,适合于测量长度、微小位移量。它是在G·W·stroke干涉仪上,增加了棱镜和平面反射镜。它在不需电子倍频装置的情况下,可使测量格值为任意值。通过增减棱镜的个数,满足不同测量灵敏度的要求。

专利类型:实用新型专利

专利号:CN86202036

专利申请(专利权)人:北京光学仪器厂

专利发明(设计)人:吴振华

主权项: 一种由平面反射镜(5,7)、锥体棱镜(2)、分光镜(4)组成的实现长度测量的干涉仪,其特征在于干涉仪中安置了锥体棱镜(6)和平面反射镜(3)。

专利地区:北京