高效率快速热退火设备专利登记公告
专利名称：高效率快速热退火设备
摘要： 本实用新型是一种高效率热退火设备，它采用了高效聚光腔，具有升温速度快、功率消耗小、结构简单、成本较低的特点。该设备可用于超大规模集成电路浅结工艺以及高速和微波半导体器件工艺方面。
专利类型：实用新型专利
专利号：CN86208776
专利申请（专利权）人：国营第７０６厂
专利发明（设计）人：贺令渝
主权项：一种高效率热退火设备，由聚光腔、可控硅整流电源、数字式程序定时控制器、数字式测温仪、数字式光强测量仪组成，其特征是其聚光腔采用了全封闭多次反射结构，由上反光板、下反光板、前反射板、后反射板以及石英毛玻璃板组成，并采用了光强测量光导纤维，以测量聚光腔内光强。
专利地区：北京
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