新型等离子体成像仪专利登记公告

专利名称：新型等离子体成像仪

摘要： 一种等离子体成像仪,结构简单,操作方便,成本低廉.该仪器可将5-100μm的表面起伏信号转变为不同层次的黑白信号,从而可获得凹凸分布花样的照片,其分辨率高达100Lines/mm.本实用新型由上、下一对金属电极,扫描装置、抽气装置、高压电源和机壳组成.本实用新型可用于半导体、晶体、玻璃、金属、纸张以及各种薄膜表面的检测,尤其在公安检测方面有重要的应用.

专利类型：实用新型专利

专利号：CN86210073

专利申请（专利权）人：北京安全局微技术研究所

专利发明（设计）人：崔大复

主权项：一种新型的等离子体成像仪，它包括上下一对金属电极和高压射频电源，其特征在于它具有扫描装置和抽气、充气装置。

专利地区：北京