宽量程半导体真空计专利登记公告

专利名称：宽量程半导体真空计

摘要： 本实用新型公开了一种根据热传导原理和半导体ＰＮ结的感温特性而设计的宽量程半导体真空计。它能够实现粗、低、高真空的连续测量，解决了常规的真空测量中的衔接误差问题，减少了测量设备，使用方便。由于在规管中设置了一个补偿二极管，所以测量中不受环境温度变化的影响，测量精度高。在１０—１０帕压强范团内，测量信号达３００毫伏以上，从而大大简化了测量线路。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN87200798

专利申请（专利权）人：合肥工业大学

专利发明（设计）人：李自鹏; 钱三德; 王先路; 陈立仁; 黄锡森

主权项： 一种由半导体真空规管（Ｇ）和控制电路（Ｌ）构成的宽量程半导体真空计，其特征是：　　（１）、规管（Ｇ）中封装有由ＰＮ结（２）电阻网络（３）及欧姆结（４）构成的硅单晶芯片（１）和ＰＮ结补偿二极管（７）；　　（２）、控制电路（Ｌ）由测量桥路（Ｌ１）、信号放大电路（Ｌ２）和信号补偿电路（Ｌ３）组成，ＰＮ结补偿二极管（７）为测量桥路（Ｌ１）的一只桥臂。

专利地区：安徽