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管芯测量观察装置专利登记公告


专利名称:管芯测量观察装置

摘要: 本实用新型是半导体激光或发光二极管管芯的测量观察装置,属于半导体光辐射器件制造或处理时的测量设备。它由抽气泵,通气泵阀,使管芯绕轴和自身作360°旋转和上下移动的机械调节机构及观察显微镜组成。本实用新型配以测量仪器可以测量激光器或发光二极管的电学特性,电光特性,也可观察激光二极管管芯的解理腔面,通气泵阀可使管芯方便的吸附在吸片针上及使管芯自然落入管芯盒中。是LD与LED研究制造过程中的有效监测工具。

专利类型:实用新型专利

专利号:CN87201004

专利申请(专利权)人:中国科学院上海冶金研究所

专利发明(设计)人:陈瑞璋

主权项: 一种半导体激光或发光二极管的测量观察装置,它由抽气泵、通气泵阀、管芯测量观察台和观察显微镜构成,本实用新型的特征在于管芯测量观察台有探测光功率的光电探测器;有包括在平面上使管芯绕轴作360°旋转的摇臂,使管芯自身作360°旋转的方向调节盘和调节摇臂和管芯高度的调节螺母所构成的机械调节机构,以及有可抽空或通气的导气管路;通气泵阀有与抽气泵和测量观察台相连的导气管及与大气相连的放气孔;管芯观察台的吸片针兼作上电极,上电极与下电极间有绝缘材料制成的绝缘底座。

专利地区:上海