薄膜厚度测量装置专利登记公告

专利名称：薄膜厚度测量装置

摘要： 薄膜厚度测量装置。本实用新型属于微波测厚技术，是对微波腔体微扰法的改进，并应用于介质薄膜的厚度测量。它采用圆柱型ＴＥ。双腔单模作为传感器，被测薄膜位于沿纵向中央所开的横向隙缝中，采取温度自补偿措施和线性好的场效应压控振荡器作为微波振荡源，利用扫频技术实现无接触在线连续自动测量和质检兼容。其测量分辨率和精度高，零漂小，耗散功率小，体积小。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN87207427

专利申请（专利权）人：厦门大学

专利发明（设计）人：李焯; 杨进城; 钟茂声; 吕文选

主权项： 微波高Ｑ腔体微扰法测量薄膜厚度的装置，它包括传感器、微波源、检测电路、脉冲形成电路、显示电路和电源，其特征在于传感器采用双腔单模高ＱＴＥ↓〔０１１〕模园柱型腔体，双腔为工作腔５和参考腔６，工作腔沿纵向中央开横向隙缝，工作腔５分为两个半腔５Ａ、５Ｂ，其中５Ａ与参考腔直接连结，５Ｂ通过良导热体连接块１８与参考腔连接。

专利地区：福建