一种用于盘形分子泵的抽气圆盘专利登记公告

专利名称：一种用于盘形分子泵的抽气圆盘

摘要： 一种盘形分子泵中圆盘上抽气沟槽的改进，该抽气圆盘的一侧或两侧盘面上开有若干个呈放射状的沿圆周均匀分布的圆弧线形抽气沟槽，即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形。弧长Ｓ由公式Ｓ＝Ｒｙθ来确定。每条弧线对应的圆心位于半径为Ｒｘ的圆周上。当Ｒｘ，Ｒｙ，取成无穷大，θ为π时，圆弧线形槽便成为直线形槽。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN87208695

专利申请（专利权）人：中国科学院北京真空物理实验室

专利发明（设计）人：王孝珍; 朱岳; 竺长新

主权项： 本实用新型提出了一种可用于盘形分子泵的抽气圆盘，其特征在于抽气圆盘的一侧或两侧面上开有沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽，即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形或直线形。

专利地区：北京