耐高温抗振型电容压力传感器专利登记公告
专利名称:耐高温抗振型电容压力传感器
摘要: 耐高温抗振型电容压力传感器由氧化铝陶瓷材料制成。其底座上同时镀有敏感电极和参比电极,在感应膜片上镀有公共电极,构成参比型电容压力传感器。其中敏感电容随压力变化而变化,而设置在边缘处的参比电容不随压力变化,可以起到温度补偿的作用。
专利类型:实用新型专利
专利号:CN87209178
专利申请(专利权)人:天津大学
专利发明(设计)人:王化祥; 丁公元
主权项: 一种由陶瓷材料制作敏感器件的电容压力传感器,其特征在于敏感器件是由感压膜片(1)和支承底座(2)两部分组成,在平膜片上镀有圆形公共电极(3),在底座上与之相对的平面上镀有圆形电极(4)和环形电极(5),在膜片与底座之间用易熔玻璃封接。
专利地区:天津
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