硅压阻式气压传感器专利登记公告

专利名称：硅压阻式气压传感器

摘要： 一 种由管帽、可代基座、外引线，引压管、扩散电阻、硅杯芯片、硅垫片组成的硅压阻式气压传感器、结构简单，成本低，适用于地下电缆保护气压的测量及非腐蚀气体、液体压强的测量。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN87209309

专利申请（专利权）人：北京半导体器件十厂

专利发明（设计）人：王冬梅

主权项： 一种由管帽、可代基座、外引线、引压管、扩散电阻、硅杯芯片、硅垫片组成的硅压阻式气压传感器，其特征是硅杯芯片的弹性膜外层制作有扩散电阻组成的电桥，硅垫片垫在硅杯芯片底部与可代基座的引压气孔，重叠粘接，形成气压空腔，硅杯芯片旁有一参考压强孔，参考压强孔的孔口粘有橡胶膜、扩散电阻的内压点与外引线端点连接，将硅杯芯片，参考压强孔用管帽封装。

专利地区：北京