小型闪光灯深能级瞬态谱仪专利登记公告
专利名称:小型闪光灯深能级瞬态谱仪
摘要: 本实用新型属于半导体材料测试 器中的光学深能级谱仪。该谱仪在国产DLTS谱仪的基础上,采用小型闪光灯作脉冲光源,结合DLTS谱仪的结构设计了同步电路。该谱仪体积小、造价低、结构简单、发光较强,主要用于半导体深能级的测量特别适用于宽禁带、单极性半导体,可以在肖特基结构下测量施主和受主深能级等参数。
专利类型:实用新型专利
专利号:CN88201059
专利申请(专利权)人:中国科学院长春物理所
专利发明(设计)人:王寿寅; 范希武
主权项: 一种测量半导体材料深能级谱的装置,是由脉冲光源,DLTS谱仪,X-Y计录器,样品室,监测示波器组成,其特征是脉冲光源为闪光灯管,配以激励、同步电路。
专利地区:吉林
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