新型水平滑动石墨舟专利登记公告

专利名称：新型水平滑动石墨舟

摘要： 一种新型水平滑动石墨舟，属于半导体光电子学领域的半导体工艺设备的改进，其特点在于溶液池为圆形且尺寸需计算得出，目的在于当所需溶剂放入池内熔化后溶液外边界与池的内边界密合，以保证其后加入的熔质和掺杂物完全被溶液所包熔。实验表明，这种舟生长出的外延片表面光亮、结线平整、晶格匹配，从而大大提高了光电器件的成品率。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN88201086

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：孙成城; 薛保兴; 何淑芳

主权项： 一种用于液相外延的水平滑动石墨舟，由舟体［４］、衬底托板［５］、滑动溶液池板［６］及溶池盖［７］所组成，其特征在于滑动溶液池板上有多个溶液池［８］，其水平截面的内边界是园形，园形直径ｄ由公式ｍ＝（πｄ＇↑〔３〕／６）Ｄ求ｄ＇，使ｄ＝ｄ＇，式中ｍ为溶液池溶剂的质量，Ｄ为熔剂的比重，ｄ＇为熔剂呈球状时的直径。

专利地区：北京