偶合式表面波等离子体发生器专利登记公告

专利名称：偶合式表面波等离子体发生器

摘要： 本实用新型提供一种偶合式表面波等离子体发生器，属低温等离子体技术领域。采用同轴型表面波等离子体发生器（Ｓｕｒｆａｔｒｏｎ）和波导型表面波等离子体发生器（Ｓｕｒｆａｇｕｉｄｅ）进行偶合组成其微波系统，取代以往单独使用该两种等离子体发生器的微波系统；可获得大体积、稳定且可随意改变其体积的等离子体。$本实用新型可用于进行表面波传输模拟实验及其等离子体反射电波实验，以及对非晶硅太阳能电池进行氢化，换处理容器后，可应用于其它方面。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN88208620.0

专利申请（专利权）人：云南大学

专利发明（设计）人：冯竞; 黄铭; 李象河

主权项： 一种偶合式表面波等离子体发生器，由贮气钢瓶１和装于其出口处的减压器２，由真空橡胶管４将其一端与减压器２相连，而另一端与微波系统处理容器７细端连接的针形阀３，真空橡胶管４，微波系统及其电源，微波系统处理容器７，连于处理容器粗端头的法兰８及其相连的园筒管９，由皮管４与园筒管９和三通管１２一端相连的、带探针电极的玻璃管１０，带探针电路以测定等离子体参量的探针电极１１，由真空橡胶管４将其三端头分别与园筒管９、真空计探头１３、玻璃三通活塞１４相连的三通管１２，由真空橡胶管４将其两端头分别与玻璃三通管１２、机械泵１

专利地区：云南