自动送取片装置专利登记公告
专利名称：自动送取片装置
摘要： 本实用新型提供了一种能用于电子束曝光机的高精度自动送取片装置。其结构不复杂，加工和装配调试都比较容易，既可在真空室（箱）内应用，也适宜其它用途应用。本装置为使我国电子束曝光技术和聚焦离子束曝光技术从实验室迈入生产实际创造了重要条件。
专利类型：实用新型专利
专利号：CN88212755.1
专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
专利发明（设计）人：王静汉; 罗正全
主权项： 一种由驱动系统和机械手所组成的自动送取片装置，其特征在于机械手滑板由滑板（１２）、两条导轨（１１）和外滑板（１０）所组成，在导轨和内滑板之间有钢球（１３）若干。
专利地区：四川
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