电子束感生电流样品台专利登记公告

专利名称：电子束感生电流样品台

摘要： 电子束感生电流样品台是扫描电镜中用于对半导器件的ｐ－ｎ结进行观察和研究的装置，它是为解决应用普通样品测角台电子束感生电流信号引出困难而设计，该装置是将吸收电流放大器作为信号的一个引出端，另一个引出端通过样品夹具、弹簧、接触弹片、表面导电环等部件与吸收电流引出装置构成电流引出回路。$本实用新型应用普通样品测角台，不影响其它信号及样品的观察，样品更换简单，移动不受限制，可进行平面、断面的电子束感生电流信号观察。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN88214251.8

专利申请（专利权）人：赵永生

专利发明（设计）人：赵永生

主权项： 电子束感生电流样品台是扫描电镜中观察电子束感生电流信号的电流引出装置，其特征在于本实用新型应用普通样品测角台将电子束感生电流信号的一端通过吸收电流放大器，另一端通过样品夹具（１）、弹簧（４）、接触弹片（６）、表面导电环（１６）引出。

专利地区：吉林