平面度误差分离法实时测量仪专利登记公告

专利名称：平面度误差分离法实时测量仪

摘要： 一种平面度误差分离法实时测量仪，属于机械量形位误差测量领域。本实用新型为高精度大平面平面测量提供一种有效的、可行的新方法，这种仪器用五个传感器按特殊分布，可以有效的分离出工作台运动平面的误差及支承测头导轨形位误差及弯曲变形误差，所测数据直接转入计算机用数据处理方法能迅速得到工件的平面度值，且能把工件的表面形状给出，从而大大提高了测量精度，同时实现了自动实时测量。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN88215251.3

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：梁晋文; 何真; 刘兴占

主权项： 一种平面度误差分离法实时测量仪，其特征在于采用五个测头同时测量，所说的五个测头按两个方向排列，同一方向相邻两测头之间距离相等并且等于该方向上的测量间距，还包括固定测头的夹具［９］，直流放大器［１８］，Ａ／Ｄ转换器［１９］，光电开关［２１］，放大整形电路［１６］微处理机［２０］所组成。

专利地区：北京