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一种镜面露点仪专利登记公告


专利名称:一种镜面露点仪

摘要: 一种用冷却液降低镜面温度观测气体露点的镜面露点仪,它有一个调节冷却液容器与镜面感温棒之间相对位置的升降机构,使镜面温度得到有效控制,以此提高露点测试的灵敏度与精确度。

专利类型:实用新型专利

专利号:CN88217268.9

专利申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所

专利发明(设计)人:尹恩华

主权项:一种用冷却液降低镜面温度观测气体露点的镜面露点仪,其特征在于,它有一个调节冷却液容器与镜面的感温棒之间相对位置的升降机构。

专利地区:北京