多弧型离子镀膜机专利登记公告

专利名称：多弧型离子镀膜机

摘要： 一种多弧型离子镀膜机，其镀膜室为简式结构，室壁与镀膜室底焊接，镀膜室立于镀膜室底座上，镀膜室底上的法兰盘上装有加热器，镀膜室的顶部有带有转动架和工件架的上盖，室壁上开有门，蒸发离化源均布在室壁四周，真空排气系统与镀膜室并排相连。这种镀膜机的高度可大大降低，无需大型特殊厂房，还可制成大型镀膜机。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89200748.6

专利申请（专利权）人：北京长城钛金技术联合开发公司

专利发明（设计）人：王殿儒

主权项：一种由镀膜室（１）、镀膜室底座（２）、转动架（３）、工件架（４）、蒸发离化源（５）、真空排气系统（６）组成的多弧型离子镀膜机，其特征在于：镀膜室（１）为筒式结构，镀膜室（１）的室壁（７）与镀膜室底（８）焊接，镀膜室（１）立于镀膜室底座（２）上，镀膜室底（８）上装有法兰盘（９），加热器（１０）焊在法兰盘（９）上且密封于镀膜室底（８）上，镀膜室（１）顶部有上盖（１１），上盖（１１）上装有转动架（３）和工件架（４），镀膜室（１）室壁（７）的侧面上开门（１２），镀膜室（１）四周均布装有数个蒸发离化源（５），真空排

专利地区：北京