非接触式激光干涉比较仪专利登记公告

专利名称：非接触式激光干涉比较仪

摘要： 一种非接触激光干涉比较仪，采用临界角法非接触光触针定位，和迈克尔逊干涉测量系统及光电转换数字显示系统，在测量时测头不接触工件表面，对高精度或非金属材料表面进行比较测量时，不会损坏被测表面，同时测量结果可自动显示，测量精度高、操作方便。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89202126.8

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：刘兴占

主权项： 一种非接触式激光干涉比较仪，其特征是采用临界角法非接触光触针定位和迈克尔逊干涉系统定位及光电转换数字显示系统组成，其具体结构是在仪器底座（２８）上固定升降丝杠（２９）及工作平台（３０），在上述升降丝杠（２９）上安有螺母（３１），螺母（３１）与支承板（３３）刚性相连，支承板（３３）上部用支架（３９）安装激光管（４０），激光管光路下方安装有透镜（４２）、（４３），在支承板（３３）中部安装有反射镜（４４），分光镜（４５）、（４６）、（４７），光电元件Ａ、Ｂ构成一光路系统，在支承板（３３）下部安装有小丝杠（３６

专利地区：北京