光学位移传感器专利登记公告
专利名称：光学位移传感器
摘要： 一种光学位移传感器，属于微小位移测量的光学仪器。本实用新型是一种非接触式光学位移传感器，其特点是不用辅助光学元件，而是采用离轴设置的象限分割光电探测器直接探测被测物的反射光。该仪器结构简单，装调方便，成本低廉。
专利类型：实用新型专利
专利号：CN89203856.X
专利申请（专利权）人：清华大学
专利发明（设计）人：巩马理; 潘龙法; 范易伟; 徐端颐
主权项： 一种光学位移传感器，由探测光源［１］、分光元件［３］、会聚透镜［４］和二象限光电探测器［６］所组成，其特征在于所说的二象线光电探测器的象线分割线与该分光元件反射光束光轴有一定间距ΔＡ。
专利地区：北京
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