新型的硅片腐蚀装置专利登记公告
专利名称：新型的硅片腐蚀装置
摘要： 新型的硅片腐蚀装置是一种可获得大面积均匀腐蚀的硅片腐蚀装置，由腐蚀槽、样品架和搅拌系统组成，其特点是样品架采用三爪式结构，搅拌系统采用偏心的双向旋转搅拌子，样品架的转动方向与搅拌子的转向相反，采用温度控制器控制腐蚀液温度，具有结构简单、使用方便等优点，可获得大面积均匀腐蚀的硅片。
专利类型：实用新型专利
专利号：CN89205180.9
专利申请（专利权）人：东南大学
专利发明（设计）人：吕世骥
主权项： 一种可获得大面积均匀腐蚀的硅片腐蚀装置，由腐蚀槽、样品架和搅拌系统组成，其特征在于样品架采用三爪式结构，搅拌系统采用偏心的双向旋转搅拌子，样品架的转动方向与搅拌子的转动方向相反。
专利地区：江苏
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